ES650自动化探针系统

ESDEMC Technology LLC 由 Wei Huang 于 2011 年 3 月在美国密苏里州罗拉创立。ESDEMC 开发 ESD 和 EMC 解决方案。公司致力于提供创新、先进、高质量和具有成本效益的解决方案以及一般咨询、测试服务和定制项目。产品包括充电设备模型 (CDM) 系统、电缆放电事件 (CDE) 系统、ESD 模拟器、脉冲衰减器、电流探头、用于射频发射/免疫的 TEM 电池、高压直流电源、定制的高压/射频设计。ESDEMC Technology 自 2012 年以来一直是 ESD 协会的企业会员。

ES650自动化探针系统是一种2针探测解决方案，适用于封装级、晶圆级和电路板级器件上的HBM、MM、TLP、HMM、CC-TLP、LI-CCDM、RP-CCDM和CDM（JS-002）测量的自动化探针台。除ESD测试解决方案外，ES650还可单独用于其自动化探测功能，使以下探针应用达到精确自动化：射频测量、I-V曲线跟踪和许多其他需要精确探测的应用。探测系统使用两个独立控制的（左和右）XYZ机架，带有探针，用于接触芯片或晶圆上的引脚或焊盘。ES650不需要插座PCB，与基于继电器的解决方案相比，寄生效应更少。此外，该系统还支持多器件测试，可实现多器件自动分类的测试中故障检查和停止判断标准。

探针测试是器件测试中非常耗时的一部分，尤其是对于采用HBM的高引脚数器件，大多数引脚都需要通过所有可能的2引脚组合进行测试。全自动测试系统可以大大提高测试效率，减少时间和测量误差。

除HBM脉冲模块外，ES650还提供用于其他脉冲测试的模块，如MM和HMM，以及CDM类型的解决方案，如FICDM、LI-CCDM、CC-TLP和RP-CCDM（一种正在申请的基于接触式第一继电器的CDM方法）。该系统还能为TLP、EOS、射频探测等其他测试方法提供机械测量。

产品特点

● 通过每个探针臂上的高分辨率摄像头可轻松实现针脚对准

● 高精度运行控制系统（最小精度1微米）

● 批量器件测试

● 漏电探测

● 自动防撞

● 测试时可通过摄像头观察探针接触情况

● 可定制测试尺寸，适合所有类型的器件测试要求

● 电流探头采用近DUT设计

● 设备配套程序

● HBM测试模块

● 数据分析

产品应用

● 全自动2针探测系统

● S测试多种流行的ESD标准和方法，具有泄露测试功能：

√ ANSI/ESDA/JEDECJS-001-2017 (HBM) 

√ ANSI/ESDASTM5.2-2019  (MM)

√ ANSI/ESDASP5.6-2009 (HMM)

√ ANSI/ESDASTM5.5.1-2016  (TLP)

√ ANSI/ESDA/JEDECJS-002-2018  (FICDM)

√ CC-TLP (ESDA SP 待定,需要VF-TLP)

√ ANSI/ESDSP5.3.3-2018  (LI-CCDM, 需要 VF-TLP)

√ RP-CCDM测试（申请中） 

√ 可以按需定制  

ES650自动化探针系统产品规格

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